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J-GLOBAL ID：201202268091116790   整理番号：12A0583409

走査形超音波顕微鏡における高速走査とその実現化

Fast scanning mode and its realization in a scanning acoustic microscope

著者 (3件)： JU Bing-feng (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  BAI Xiaolong (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  CHEN Jian (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 83  号： 3  ページ： 035113-035113-8  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 二次元ステージのスキャン速度は機械的走査測定システムの効率を支配する。本論文は,従来のラスタとスパイラル走査方式の詳細な走査時間分析に着目し,次に,2つの高速代替のスキャンモードを提案した。自己開発した走査形超音波顕微鏡(SAM)によって得られた測定イメージと,従来の走査方式と高速走査方式を使用することによって得られた測定イメージを比較する。総走査時間は2つの提案された高速走査方式に比べて29%だけ減少します。それは,システムの安定性を犠牲にせずに高速走査のためのより良い解決策を提供して,走査測定システムの構成に追加的問題を導入しない。圧電,リニアーモーター,dcモーターなどの異なった駆動アクチュエータを有する機械的走査測定システムに容易にそれらを応用できる。提案された高速ラスタと正方形のスパイラル走査方式は,SAMで実現化されているが,それのための特別な設計はなされていない。したがって,それらは普遍的な適応性を持ち,二次元機械的走査ステージを有する他の走査測定システム,すなわち,原子間力顕微鏡や走査型トンネル顕微鏡等に応用できます。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *超音波顕微鏡 ,  *高速化 ,  *走査 ,  アクチュエータ ,  原子間力顕微鏡 ,  モード
準シソーラス用語： *走査形超音波顕微鏡 ,  スキャンモード

分類 (1件)： 音響信号処理  (BB03050C)

タイトルに関連する用語 (2件)： 走査形 ,  超音波顕微鏡