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J-GLOBAL ID：201202268193318886   整理番号：12A0942983

新型FE-SEM「JSM-7800F」の紹介

著者 (3件)： 斎藤学 (日本電子) ,  数森啓悦 (日本電子) ,  工藤政都 (日本電子)
資料名： Uyemura Technical Reports  (Uyemura Technical Reports)
号： 67  ページ： 39-42  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： L0887A  CODEN： UYTRFV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 日本電子(株)製FE-SEM「JSM-7800F」の性能と特徴を紹介した。日本電子では,高分解能,多様な信号選別,分析時の使いやすさのいずれをも満足する対物レンズ(SHL)を開発した。JSM-7800Fでは,このSHL対物レンズを搭載し,全体の機能を強化した。インレンズサーマル電界放射電子銃と開き角制御レンズによって高安定な大電流電子ビームが得られるため,多様な分析に対応できる。またJSM-7800Fには,試料から発生する様々な信号を選別取得できる4種類の検出器システムを搭載した。これら4種類の検出器による像の例を示し,特徴を紹介した。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *電界放出 ,  高分解能 ,  対物レンズ ,  電子ビーム ,  検出器 ,  新製品 ,  *製品開発
準シソーラス用語： FE-SEM

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (1件)： FE-SEM