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J-GLOBAL ID:201202268364518412   整理番号:12A1099976

ZnOの透明で伝導性膜のゾルゲル合成:批判的アプローチ

Sol-gel synthesis of ZnO transparent and conductive films: A critical approach
著者 (7件):
資料名:
巻: 105  ページ: 179-186  発行年: 2012年10月 
JST資料番号: D0513C  ISSN: 0927-0248  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ZnO薄膜のゾルゲル合成の主要な面について,透明性,結晶化挙動,電気抵抗率のような膜の特性に影響するプロセスパラメータに特に注意して批判的に調べた。亜鉛酢酸塩二水和物,無水エタノール及びトリエタノールアミンから始まって,価値あるゾルゲルルートを設定した。このルートは,浸漬被覆による透明なZnO薄膜の調整を可能にした。Zn2+に対するその高いキレート効率のおかげで,トリエタノールアミンは,室温で,安定な亜鉛酢酸塩二水和物溶液をすべて調製することが出来る。膜の構造的,光学的,形態的特性は,入射X線,紫外線分光学,原子間力顕微鏡により調べた。約120nm厚を持つ,高い接着力(約140Kgcm-2の特性を持つ,単一層膜が得られた。浸漬被覆非晶質膜の結晶化挙動を500-600°Cの温度範囲で調べた。ランダムに配向したナノ結晶(約20nm)により形成され,可視領域で90%以上の平均透過率を持つ,多結晶膜が得られた。最後に,電気抵抗率に対する,焼きなまし雰囲気の強い影響が観察された。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 
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