抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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浜松ホトニクスでは,X線イメージングに必要なあらゆるキーデバイスを開発している。それらには,X線を照射するマイクロフォーカスX線源などの発光デバイス,X線用イメージセンサ,ラインセンサなどの受光デバイス,X線を可視光に変換するシンチレータなどがある。X線非破壊検査において高画質な画像を得るためには,高解像度の検出器と高精細の焦点(フォーカス)を有したマイクロフォーカスX線源(MFX)が必要になる。当社のMFXは,微小焦点により透視画像のボケを抑え,鮮明な拡大画像を可能にしている。これと,高感度なX線イメージインテンシファイアを組み合わせることで,高精細なリアルタイムイメージングを実現し,X線非破壊検査や,医療用イメージングに広く応用されている。ここでは,浜松ホトニクス社のX線関連技術の概要と,インライン検査への応用例について紹介した。