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J-GLOBAL ID:201202268513029110   整理番号:12A1738376

犠牲珪素ナノワイヤからの珪素ナノチューブ: 柔軟高分子中への埋込みによる作製と操作

Silicon nanotubes from sacrificial silicon nanowires: fabrication and manipulation via embedding in flexible polymers
著者 (3件):
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巻: 23  号: 30  ページ: 305602,1-5  発行年: 2012年08月03日 
JST資料番号: W0108A  ISSN: 0957-4484  CODEN: NNOTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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自己集合した犠牲珪素(Si)ナノワイヤの成長から出発して,Siナノチューブを簡単に作製すると同時に,それらをポリイミド基質中に埋込み,これらのナノ物体を非常に簡単に除去,移動,配置する方法を示した。この全珪素作製法はSi技術プラットフォームと完全に両立する。移動したナノチューブは下層電極と良好な電気接触を示し,電気抵抗率は低い。エレクトロニクスにおけるナノチューブの潜在性と移動法の有効性を実証した。ナノチューブの光反射率を近紫外~近赤外領域で測定した。
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分類 (1件):
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半導体の結晶成長 

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