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J-GLOBAL ID：201202269515624453   整理番号：12A0296859

新しいソース/ドレイン接触と多層金属相互接続を有するフレキシブル基板上の自己整列カーボンナノチューブ薄膜トランジスタ

Self-Aligned Carbon Nanotube Thin-Film Transistors on Flexible Substrates With Novel Source-Drain Contact and Multilayer Metal Interconnection

著者 (5件)： PHAM Daniel T. (Univ. Texas at Austin, TX, USA) ,  SUBBARAMAN Harish (Omega Optics, Inc., TX, USA) ,  CHEN Maggie Yihong (Texas State Univ., TX, USA) ,  XU Xiaochuan (Univ. Texas at Austin, TX, USA) ,  CHEN Ray T. (Univ. Texas at Austin, TX, USA)
資料名： IEEE Transactions on Nanotechnology  (IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻： 11  号： 1  ページ： 44-50  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： W1355A  ISSN： 1536-125X  CODEN： ITNECU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フレキシブル基板上に稠密配列した純度99%の半導性単層カーボンナノチューブ(CNT)からなるチャンネルを蒸着し,素子基板上に移動させた。ソース,ドレイン,ゲート構造はインクジェット印刷により形成した。CNT薄膜適用前に液滴を用いてソース/ドレイン接触を形成する新しい方法を開発し,CNTチャンネルとソース/ドレインの接触を向上させた。CNT-TFT試験構造の曲げ試験では,性能の変化は<10%であった。また,フレキシブルエレクトロニクスのための特別の多層金属相互接続技術を実証した。

シソーラス用語： フレキシブル基板 ,  *単層カーボンナノチューブ ,  インクジェット印刷 ,  被覆 ,  *電子技術 ,  相互接続 ,  *薄膜トランジスタ ,  素子構造 ,  曲げ試験 ,  電流電圧特性
準シソーラス用語： ディップコーティング法 ,  *フレキシブルエレクトロニクス

分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (8件)： ソース ,  ドレイン ,  多層 ,  相互接続 ,  フレキシブル基板 ,  自己整列 ,  カーボンナノチューブ ,  薄膜トランジスタ