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J-GLOBAL ID：201202269754476059   整理番号：12A1652819

静電誘導フィード法を用いた電気化学的マイクロマシニング

Electrochemical Micromachining Using Electrostatic Induction Feeding Method

著者 (2件)： KOYANO Tomohiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KUNIEDA Masanori (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 523/524  ページ： 305-309  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 静電誘導フィード法を用いた電気化学的マイクロマシニングを行い,マシニング電流に及ぼす供給電力のパルス電圧及びフィーディングキャパシタンスの影響を理論的に研究した。理論的解析は,等価回路を用いて行った。実験は,48.5μm径のタングステンロッドを工具電極に用い3000rpmで回転させ,ワークピースにはステンレス鋼板(SUS304)を用いた。研究の結果,電流パルス幅はパルス電圧のパルスオンタイムにかかわらず,立ち上がり及び立ち下がり時間と殆ど等しいことが分かった。従って,高価なパルスジェネレータを用いる必要性無しに超短パルスを得ることが出来る。電流パルス幅30nsによる2重量%NaCl溶液中での微小孔ドリリング(入口孔径52μm)実験を行い,著しく小さなサイドギャップ(2μm以下)が得られた。孔入口のエッジは鋭く,孔底は滑らかであった。

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *電解加工 ,  *静電誘導 ,  パルス ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  静電容量 ,  穴あけ
準シソーラス用語： *給電 ,  SUS304 ,  タングステン電極

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 静電誘導 ,  フィード ,  電気化学 ,  マイクロマシニング