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J-GLOBAL ID：201202270171916679   整理番号：12A0703202

AlN/CrN多層硬被覆の硬度への窒素結合の影響

The Effects of Nitrogen Bonding on Hardness of AlN/CrN Multilayer Hard Coatings

著者 (12件)： YOON Sang-Won (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  YOON Sang-Won (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  SEO Jong-Hyun (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  SEO Jong-Hyun (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  CHAE Keun-Hwa (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  PARK Jong-Keuk (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  SONG Jong-Han (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR) ,  JAYARAM Vickram (Indian Inst. Sci., Bangalore, IND) ,  LEE Kon-Bae (Kookmin Univ., Seoul, KOR) ,  SEONG Tae-Yeon (Korea Univ., Seoul, KOR) ,  HOON-KWON (Kookmin Univ., Seoul, KOR) ,  AHN Jae-Pyoung (Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 2  ページ： 1476-1479  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々の二層厚さをもつ標記硬被覆を反応性スパッタリングにより作製した。多層被覆の微細構造の評価をTEM観察により行い,AlN/CrN多層被覆の界面粗さ,二層の厚さ,全厚さを決定した。硬度をナノ押込み法により測定した。また,窒化物の二層厚さとの化学的混合状態をNEXAFS測定により調べ,最大硬度の理由について述べた。

シソーラス用語： *硬度 ,  被覆 ,  窒化物 ,  反応性スパッタリング ,  表面性状 ,  *ナノインデンテーション ,  XANES ,  *窒化アルミニウム ,  クロム化合物 ,  化学結合
準シソーラス用語： NEXAFS ,  ナノ押込 ,  *二重被覆 ,  界面粗さ ,  *窒化クロム

分類 (1件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： AlN ,  多層 ,  硬度 ,  窒素結合