文献

J-GLOBAL ID：201202271017369203   整理番号：12A0411032

キャビテーション環境下における光ファイバハイドロホンの適用可能性の検討

Feasibility study on sound pressure measurement under cavitation using fiber-optic hydrophone

著者 (4件)： 巽敏之 (芝浦工大) ,  菊池圭 (芝浦工大) ,  小池義和 (芝浦工大) ,  鈴木一成 (カイジョー)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 111  号： 401(US2011 86-103)  ページ： 97-100  発行年： 2012年01月19日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： キャビテーション環境での絶対音圧計測は半導体基板における高周波超音波洗浄において重要である。しかし,従来のニードル型ハイドロホンではキャビテーション気泡により損傷の恐れがある。筆者らは,屈折率変調方式の光ファイバハイドロホンを超音波洗浄機の絶対音圧計測に適用を試みている。光ファイバハイドロホン及びマイクロホンは集束超音波の分野で利用されてきているが,キャビテーション気泡の影響による出力変化が音圧計測の妨げになることが問題となる。今回の報告で,キャビテーション環境で光ファイバハイドロホンの適用可能性について検討する。検出機構を増やし気泡の影響を補う計測法を提案する。(著者抄録)

シソーラス用語： *キャビテーション ,  *音響測定 ,  超音波洗浄 ,  超音波 ,  気泡 ,  *ハイドロホン ,  洗浄装置
準シソーラス用語： キャビテーション気泡 ,  *音圧計測 ,  *光ファイバハイドロホン ,  高周波超音波 ,  *超音波キャビテーション ,  超音波洗浄装置

分類 (2件)： 音響測定  (BB03040R) ,  膜流,液滴,気泡,キャビテーション  (BC02070U)

タイトルに関連する用語 (5件)： キャビテーション ,  環境 ,  光ファイバ ,  ハイドロホン ,  適用可能性