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J-GLOBAL ID:201202271100618509   整理番号:12A0925171

大型フレネルレンズ成形型の精密研削と計測

著者 (9件):
資料名:
巻: 27  号:ページ: 116-117  発行年: 2012年07月01日 
JST資料番号: X0147A  ISSN: 0912-5582  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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超硬合金に対しダイヤモンドホイールを用いたフレネルレンズ形状の高精度・高能率研削につき検討した。先端が45°に尖ったダイヤモンドホイールを用い,工作物の半径方向Y軸,回転軸方向Z軸を同時2軸制御し,研削点でワークの回転方向と平行に砥石が回転するように研削加工を行った。ツルーイング/ドレッシングは単結晶ダイヤモンドやGC砥石では砥石先端を鋭い形状に成形するのは困難であるため,レアメタル(Nb)製ツルアを用いた。同時4軸(X,Y,Z,C)制御超精密加工機ULG-100D(SH3)を用いて研削加工を行った。研削装置のX,Y,Z軸はころがり案内でリニアモータ駆動であり,最小分解能は1nmである。主軸と工具スピンドルは多孔質空気静圧軸受を使用した。直径φ50mmのフレネル形状の微粒子超硬合金製金型に対しダイヤモンドホイールで研削加工を行った。フレネル形状を非接触走査型青色レーザープローブにより測定した。P-V0.8μm以下の形状精度が得られ,中心部分の表面粗さをNew View6200で測定し,Rz18nmと良好な表面粗さが得られた。
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分類 (2件):
分類
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研削  ,  ガラスの製造 
タイトルに関連する用語 (5件):
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