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J-GLOBAL ID：201202271359004967   整理番号：12A1738485

レーザDoppler振動計を利用した原子間力顕微鏡の片持梁のバネ定数の高精度・高確度キャリブレーション

Accurate and precise calibration of AFM cantilever spring constants using laser Doppler vibrometry

著者 (2件)： GATES Richard S (National Inst. of Standards and Technol., MD, USA) ,  PRATT Jon R (National Inst. of Standards and Technol., MD, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 37  ページ： 375702,1-12  発行年： 2012年09月21日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡法では,片持梁が重要な役割をする。片持梁は,イメージングの精度を制御し,ナノ機械特性の測定を決定する。このために,片持梁のバネ定数を高精度にキャリブレーションすることが重要である。このキャリブレーション法として,在来型の原子間力顕微鏡が検討されているが,片持梁を傷つけるなどの問題があった。本論文では,原子間力顕微鏡の片持梁のバネ定数のキャリブレーションについて検討した。レーザDoppler振動計を利用する方法を提案した。この方法を詳細に説明した。レーザDoppler振動計では,片持梁にレーザビームを照射して,その熱応答を計測した。300μmのNISTプロトタイプの基準片持梁の測定結果を示した。また,様々な方法で測定した結果とも比較した。この結果,片持梁の屈曲と捻れのバネ定数を高精度に測定できることが分かった。

シソーラス用語： キャリブレーション ,  *原子間力顕微鏡 ,  プロトタイプ ,  レーザビーム ,  マイクロマシン ,  ナノ構造 ,  *ばね定数 ,  *振動計 ,  *片持梁 ,  Doppler効果 ,  *レーザ応用 ,  振動測定 ,  測定精度
準シソーラス用語： ナノ機械 ,  *レーザDoppler振動計 ,  原子間力顕微鏡法

分類 (3件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  レーザの応用  (BD04100V) ,  振動の励起・発生・測定  (BB02030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： レーザDoppler振動計 ,  原子間力顕微鏡 ,  片持梁 ,  バネ定数 ,  確度 ,  キャリブレーション