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J-GLOBAL ID：201202271418050633   整理番号：12A0533288

多重センサによるナノ位置決め:データ記憶における事例研究

Nanopositioning With Multiple Sensors: A Case Study in Data Storage

著者 (2件)： SEBASTIAN Abu (IBM Res.-Zurich, Rueschlikon, CHE) ,  PANTAZI Angeliki (IBM Res.-Zurich, Rueschlikon, CHE)
資料名： IEEE Transactions on Control Systems Technology  (IEEE Transactions on Control Systems Technology)
巻： 20  号： 2  ページ： 382-394  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： W0515A  ISSN： 1063-6536  CODEN： IETTE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,多重センサの同時利用によるナノ位置決めに対する制御手法について,プローブベ-スのデータ記憶の関連で行った包括的研究を示した。データ記憶装置のプロトタイプは,マイクロスキャナのスキャンテーブル上にコーティングしたポリマー薄膜に情報を記録するカンチレバアレイで構成している。装置の動作中は,ポリマー媒体はカンチレバアレイとは相対的に移動する。位置情報を得るために感熱位置センサ(TPS)と媒体駆動の位置誤差信号(PES)を用いた。TPSは低周波雑音とドリフトの影響を受けやすく,絶対ナノスケールの位置決め精度を確保するには,PESを用いることが不可欠となる。プローブ式記憶装置の精密なモデルを用いたシミュレーション結果では,多入力単一出力(MISO)H∞制御器と固有のセンサ融合の有効性を実証した。

シソーラス用語： センサ ,  *位置決め ,  *データ蓄積 ,  規模 ,  高分子薄膜 ,  片持梁 ,  位置センサ ,  H無限大制御 ,  *センサフュージョン
準シソーラス用語： *H∞制御 ,  カンチレバー ,  データ記憶 ,  *ナノスケール ,  ポリマー薄膜 ,  *多重センサ

分類 (1件)： 記憶装置  (JC04060F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 多重センサ ,  ナノ位置決め ,  データ記憶 ,  研究