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J-GLOBAL ID：201202271617744903   整理番号：12A0777796

ゾル濃度へのゾル-ゲル誘導ZnO薄膜の構造的及び光学的特性の依存性

Dependence of structural and optical properties of sol-gel derived ZnO thin films on sol concentration

著者 (6件)： XU Linhua (School of Physics and Optoelectronic Engineering, Nanjing Univ. of Information Sci. & Technol., Nanjing 210044, CHN) ,  XU Linhua (Optics and Photonic Technol. Lab., Nanjing Univ. of Information Sci. & Technol., Nanjing 210044, CHN) ,  ZHENG Gaige (School of Physics and Optoelectronic Engineering, Nanjing Univ. of Information Sci. & Technol., Nanjing 210044, CHN) ,  ZHENG Gaige (Optics and Photonic Technol. Lab., Nanjing Univ. of Information Sci. & Technol., Nanjing 210044, CHN) ,  MIAO Juhong (School of Physics and Optoelectronic Engineering, Nanjing Univ. of Information Sci. & Technol., Nanjing 210044, CHN) ,  XIAN Fenglin (Dep. of Applied Physics, Nanjing Univ. of Sci. and Technol., Nanjing 210094, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 19  ページ： 7760-7765  発行年： 2012年07月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnO薄膜をゾル-ゲル法により作製し,ゾル濃度へのこれらの膜の構造的及び光学的特性の依存性を詳細に研究した。結果は,低いゾル濃度が,良好な結晶品質をもつ高c軸配向ZnO薄膜を得るのに適していることを示した。ゾル濃度が0.7mol/L以上のとき,c軸配向の程度は減少し,光学的品質も低下した。光ルミネセンスは,欠陥関係青色発光がゾル濃度の増加と共に強まることを示した。青色発光の機構を分析した。高いゾル濃度が,高c軸配向ZnO薄膜の形成及び高光学品質の実現に,何故適していないかも議論した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *ゾル-ゲル法 ,  *光ルミネセンス ,  青色光 ,  薄膜成長 ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  結晶度 ,  優先配向 ,  紫外可視発光スペクトル ,  *光学ギャップ ,  点欠陥
準シソーラス用語： 結晶欠陥 ,  *結晶配向

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (6件)： ゾル ,  ゾル-ゲル ,  誘導 ,  ZnO薄膜 ,  光学的特性 ,  依存性