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J-GLOBAL ID：201202271642574850   整理番号：12A1219600

PMMAの3次元加工のためのエキシマレーザーアブレーションの特性

Characteristics of Excimer Laser Ablation for Three Dimensional Machining of PMMA

著者 (4件)： OGURA Kohei ,  ZHU Jiang ,  TANAKA Tomohisa ,  SAITO Yoshio
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 516  ページ： 192-197  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PMMA(ポリメチルメタクリレート)の3次元加工のエキシマレーザーアブレーションの加工特性を調べ,数値的と実験的アプローチにより,PMMAのエキシマレーザーアブレーションの最良加工条件を明らかにした。熱的影響は,レーザーアブレーションプロセスを使用したとしても,PMMAを248nmエキシマレーザーで加工時は,非常に大きかった。193nmエキシマレーザーで加工した除去表面は,比較的きれいで滑らかなので,PMMAのレーザーアブレーションプロセスに193nmエキシマレーザーを使用するのがより良いようである。248nmエキシマレーザーを,PMMAのレーザーアブレーションプロセスに使用した時,低いフルエンスとパルス反復率による表面の再加工が効果的であった。たとえ表面が,既に多すぎる熱影響により以前の加工でつくられた高い粗さを持っていても,プロセスが,表面品質を改善できる。可変走査速度法が,エキシマレーザーアブレーションを用いた3D加工に効果があることを明らかにした。しかし,加工精度を保証するためには,実際のレーザースポットの寸法を正確に知ることが必要である。

シソーラス用語： *ポリメタクリル酸メチル ,  加工 ,  エキシマレーザ ,  *レーザアブレーション ,  加工性 ,  熱影響 ,  除去 ,  フルエンス ,  パルス ,  表面性状 ,  工作精度 ,  加工面
準シソーラス用語： レーザフルエンス ,  三次元加工

分類 (1件)： 機械加工,仕上げ一般  (YH04111G)

タイトルに関連する用語 (2件)： PMMA ,  3次元加工