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J-GLOBAL ID：201202272058553244   整理番号：12A1449340

WSiワイヤ付き近-中赤外ワイヤグリッド偏光子の製作

Fabrication of near- or mid-infrared wire-grid polarizers with WSi wires

著者 (4件)： YAMADA Itsunari (Univ. Shiga Prefecture, Shiga, JPN) ,  FUKUMI Kouhei (National Inst. Advanced Industrial Sci. and Technol., Osaka, JPN) ,  NISHII Junji (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  SAITO Mitsunori (Ryukoku Univ., Shiga, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8428  ページ： 84281A.1-84281A.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 中赤外領域のシリコンより高い透明性を持つY₂O₃セラミック基板上のサブ波長格子構造を製作した。すなわち,Y₂O₃セラミック基板とWSi格子とで構成されるワイヤグリッド偏光子を製作した。周期350nmと250nm深さの光子は二ビーム干渉リソグラフィと反応性イオンエッチング(RIE)により素子表面上に形成される。さらに,SiO₂基盤とWSi格子で構成される近赤外ワイヤグリッド偏光子も製作した。230nm周期と110nm厚みのWSi格子は二ビーム干渉リソグラフィとRIEにより要素表面に形成された。

シソーラス用語： 格子構造 ,  酸化イットリウム ,  リソグラフィー ,  光干渉 ,  微細加工 ,  *偏光子 ,  金属線 ,  WSI【IC】 ,  近赤外線 ,  赤外線
準シソーラス用語： *ワイヤグリッド偏光子 ,  中赤外線

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (4件)： WSI ,  ワイヤ ,  ワイヤグリッド偏光子 ,  製作