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J-GLOBAL ID：201202272152205136   整理番号：12A1116877

光化学マシニングによる炭素鋼の表面テクスチャリングの研究

A study of surface texturing of carbon steel by photochemical machining

著者 (2件)： ZHANG Jinyu (State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN) ,  MENG Yonggang (State Key Lab. of Tribology, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
資料名： Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)
巻： 212  号： 10  ページ： 2133-2140  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,光化学マシニング(PCM)法を用いて炭素鋼表面上にミクロテクスチャリングを施すために,フォトリソグラフィと湿式化学エッチングの2段階から成る,一連の実験を行った。第1段階では,フォトレジスト膜のパターニングに及ぼすスピン塗布速度,露光時間および現像時間を含むフォトリソグラフィーパラメータの影響を調査し,最適なプロセスパラメータを求めた。第2段階では,試行錯誤的手法により,HNO₃:H₃PO₄:H₂O=8.5%:59.5%:32%(mass%)の混合溶液が炭素鋼の湿式化学エッチングに適したエッチング液である事を発見した。最適結果に基づき,様々なサイズの円および直角三角形のミクロテクスチャリングを炭素鋼ディスク端面上に造形した。端面プロファイル変化,およびエッチング時間の影響で変わるミクロテクスチャーエッチング深さの変化を調べた。造形したミクロテクスチャーの幾何学的予測モデルを作成し,その精度を追加実験結果と比較して検証し,その応用範囲について検討した。このモデルがミクトテクスチャープロファイルの正確な制御を可能にし,テクスチャー表面の流体力学的潤滑挙動解析に基づく適切なミクロテクスチャープロファイルの利用を容易にする。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭素鋼 ,  トポグラフィー【形態】 ,  *フォトリソグラフィー ,  *エッチング ,  リン酸 ,  硝酸 ,  混合液体 ,  *パターン形成 ,  微細構造 ,  *表面加工 ,  予測モデル ,  *表面構造 ,  フォトレジスト ,  現像 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： ディンプル ,  *化学エッチング ,  *光化学マシニング ,  *表面テクスチャー

分類 (1件)： その他の表面処理  (WC08070F)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光化学 ,  マシニング ,  炭素鋼 ,  表面テクスチャリング ,  研究