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J-GLOBAL ID:201202272501338220   整理番号:12A1763830

電界放出駆動直流マイクロ放電の基本的性質

Fundamental properties of field emission-driven direct current microdischarges
著者 (2件):
資料名:
巻: 112  号: 10  ページ: 103302-103302-8  発行年: 2012年11月15日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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半世紀の間,10μmより小さいギャップサイズをもつ直流マイクロ放電の開始はPaschenの法則により予測される値よりずっと低い印加電圧で破壊に到達出来ることが知られて来た。この尺度では他の基本的なプラズマの性質に電界放出がどのように影響するかは不明瞭のままである。この研究では,密度,空間電荷による電場および前期破壊領域における電流-電圧関係を含む基本的な性質に対する基本的なスケーリング則を予測するために一次元流体モデルを利用した。計算結果を近似的な解析的解と比較した。電界放出は豊富な陰極電子を与え,それが破壊に対するPaschenの基準に出会う前にイオン化衝突井戸を通して大きなイオン濃度を生成する。イオン増強電界放出による破壊は空間電荷による電場が印加電場と同程度になる時に起こることを示した。1D Poisson方程式の簡単なスケーリング解析は電場をかなり歪ませるためにはn+=0.1VAε0/qd2のイオン密度が必要であることを示した。この臨界イオン密度による破壊を定義して,BoyleとKisliukにより最初に示唆された[Phys.Rev.Vol.97,255(1955)]のと同じ数学的な形の,簡単な有効二次放出係数γ′を解析的な求めた。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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気体放電 
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