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J-GLOBAL ID：201202272511580495   整理番号：12A0345294

UV及びX線源画像化のためのダイヤモンド検出器

Diamond Detectors for UV and X-Ray Source Imaging

著者 (7件)： GIROLAMI Marco (Universita degli Studi Roma Tre, Rome, ITA) ,  ALLEGRINI Paolo (Universita degli Studi Roma Tre, Rome, ITA) ,  CONTE Gennaro (Universita degli Studi Roma Tre, Rome, ITA) ,  CONTE Gennaro (Inst. Photonics and Nanotechnologies (IFN), National Res. Council (CNR), Rome, ITA) ,  TRUCCHI Daniele M. (Inst. Inorganic Methodologies and Plasmas (IMIP), National Res. Council (CNR), Monterotondo Scalo (RM), ITA) ,  RALCHENKO Viktor G. (Prokhorov General Inst. Physics, Russian Acad. Sci., Moscow, RUS) ,  SALVATORI Stefano (Universita degli Studi Roma Tre, Rome, ITA)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 33  号： 2  ページ： 224-226  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン製のUVやX線用プロファイラが市販されているが,照射損傷やバックグラウンドが強いなどの問題がある。本稿では,UV及びX線用のダイヤモンド検出器を検討した。標準的フォトリソグラフィーを用いて多結晶CVDダイヤモンドからなる36画素アレイを作製した。マルチチャネルフロントエンドのスイッチングキャパシタ積分器とΣ-ΔAD変換器を設けた。インタフェイスを介して計算機でデータ収集し解析するビームプロファイラを作製した。本システムの分光特性などを測定した。この結果により,以下のことを示した。1)本検出器は約4桁高いUV-VIS識別能を有した。2)2x10⁶パルスのArF照射後に損傷は無かった。3)光電流の立上がり時間は約1.3nsであった。4)32mGy/hのX線プロファイルを測定できた。

シソーラス用語： ケイ素 ,  測距儀 ,  照射損傷 ,  バックグラウンド ,  放射線検出器 ,  *検出器 ,  *ダイヤモンド ,  フォトリソグラフィー ,  積分器 ,  AD変換器 ,  インタフェイス ,  光電流 ,  *X線源 ,  X線検出器 ,  *画像化 ,  分光特性 ,  *鉱石 ,  *宝石
準シソーラス用語： CVD【化学蒸着】 ,  シリコン ,  フロントエンド【回路】 ,  立上り時間

分類 (1件)： 放射線検出・検出器  (AD08020J)

タイトルに関連する用語 (4件)： X線源 ,  画像化 ,  ダイヤモンド ,  検出器