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J-GLOBAL ID：201202272641368951   整理番号：12A0592136

マイクロ波プラズマ増強化学蒸着プロセスによるアルミナ上のダイヤモンド状炭素ナノ膜の被覆

Coating of Diamond-Like Carbon Nanofilm on Alumina by Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Process

著者 (5件)： RATTANASATIEN Chotiwan (Chulalongkorn Univ., Bangkok, THA) ,  TONANON Nattaporn (Chulalongkorn Univ., Bangkok, THA) ,  BHANTHUMNAVIN Worawan (Chulalongkorn Univ., Bangkok, THA) ,  PAOSAWATYANYONG Boonchoat (Chulalongkorn Univ., Bangkok, THA) ,  PAOSAWATYANYONG Boonchoat (Commission on Higher Education, Bangkok, THA)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 1  ページ： 642-647  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： メタンと水素の混合ガスによるマイクロ波プラズマ増強化学蒸着法を用いてダイヤモンド粉体による引掻き前処理を用いて,核形成密度を増強したアルミナ基板上に100~数100nm厚のダイヤモンド状炭素ナノ膜を形成した。Ramanスペクトルには1332cm^-1のダイヤモンドのsp³のピークと1550cm^-1付近の広いsp²の非晶質炭素相が現れ,半値全幅は9.8~87.6cm^-1の範囲で変化し,純度は低いが,全ての膜にダイヤモンド相が形成された。ナノ押込み法で測定した硬度は未被覆の7.3GPaから被覆厚とともに増加し,90nm厚では15.8GPa,600nmでは50GPaを超える最大硬度が得られた。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *プラズマCVD ,  基板 ,  アルミナ ,  *薄膜成長 ,  混合気体 ,  水素 ,  ダイヤモンド ,  粉体 ,  核形成 ,  Ramanスペクトル ,  スペクトル解析 ,  炭素材 ,  硬度 ,  アルカン
準シソーラス用語： *マイクロ波プラズマCVD ,  非晶質炭素

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (6件)： マイクロ波 ,  プラズマ増強化学蒸着 ,  プロセス ,  アルミナ ,  ダイヤモンド状炭素 ,  ナノ膜