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J-GLOBAL ID：201202273263961866   整理番号：12A0646317

スパッターチタン膜の組織と機械的諸性質におよぼす酸素と窒素の少量濃度の影響

Effect of small concentrations of oxygen and nitrogen on the structure and mechanical properties of sputtered titanium films

著者 (4件)： FIRSTOV S. ,  KULIKOVSKY V. ,  ROGUL T. ,  CTVRTLIK R.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 206  号： 17  ページ： 3580-3585  発行年： 2012年04月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マグネトロンスパッタリングによって作製したナノ結晶チタン膜の組織と機械的諸性質におよぼす酸素と窒素の少量添加の研究結果を報告する。硬度と弾性係数をナノインデンテーション法で測定した。膜組成と組織をOES,SEM,XRDで研究した。少量の酸素(≦2at.%)と窒素(≦1at.%)添加ナノ結晶膜の硬度と弾性係数は,純Ar中で堆積したものとほぼ同じであった。硬度は酸素/窒素量が~6at.%まで上昇すると~4から~10GPaに大きく上昇した。このとき結晶粒径が~85から~20nmに減少し,圧縮応力が成長した。得られた結果を膜組織と組成の変化から説明した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *機械的性質 ,  *チタン ,  *金属組織 ,  酸素 ,  窒素 ,  ナノ結晶 ,  押込硬さ ,  弾性係数 ,  ナノインデンテーション ,  マグネトロンスパッタリング ,  結晶粒度 ,  圧縮応力 ,  金属薄膜 ,  蒸着膜 ,  不純物 ,  スパッタ蒸着 ,  アルゴン

分類 (2件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N) ,  機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (6件)： スパッター ,  チタン膜 ,  組織 ,  性質 ,  酸素 ,  窒素