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J-GLOBAL ID：201202273519346811   整理番号：12A0664693

種々の粘度の液体を用いたマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)デバイスの潤滑

Lubrication of Microelectromechanical Devices Using Liquids of Different Viscosities

著者 (6件)： KU I. S. Y. (Imperial Coll. London, London, GBR) ,  REDDYHOFF T. (Imperial Coll. London, London, GBR) ,  WAYTE R. (Imperial Coll. London, London, GBR) ,  CHOO J. H. (National Univ. Singapore, Singapore, SGP) ,  HOLMES A. S. (Imperial Coll. London, London, GBR) ,  SPIKES H. A. (Imperial Coll. London, London, GBR)
資料名： Journal of Tribology  (Journal of Tribology)
巻： 134  号： 1  ページ： 012002.1-012002.7  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： B0901A  ISSN： 0742-4787  CODEN： JOTRE9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 近年,ケイ素ベースMEMSデバイスの開発が,非常に進展してきており,圧力/流れ/慣性センサやインクジェットプリンタヘッドなどへ広く適用されている。ここでは,新しく開発したマイクロトライボメータを用いて,標記のトライボ特性を解析し,また,理論解析と比較しながら,次項のほか,詳細な知見を得た。1)低粘度液体での境界潤滑/混合潤滑の領域では,流体圧に必要な円周方向収束の欠如のために,非常に高い摩擦が発生する,2)試験時の全ての流体潤滑特性は,ストライベック曲線によって表現できる,3)より高速な完全流体潤滑領域での摩擦は,速度に伴って増加し,負荷に伴って低減する,4)低粘度潤滑剤での摩擦係数は比較的低い,5)低速度で不十分な潤滑剤連行状態下での境界摩擦は非常に高い。

シソーラス用語： *MEMS ,  *ケイ素 ,  *流体潤滑 ,  *潤滑剤 ,  *トライボロジー ,  摩擦係数 ,  境界潤滑 ,  混合潤滑 ,  流速 ,  速度依存性 ,  負荷特性 ,  計算理論 ,  摩擦試験
準シソーラス用語： ストライベック曲線 ,  *液体潤滑 ,  円周方向 ,  荷重依存性 ,  収束性 ,  粘度依存性 ,  *摩擦特性 ,  理論解析 ,  流体圧

分類 (4件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  各種石油製品及びその製造一般  (YF02071R) ,  非Newton流  (BC02020R) ,  レオロジー一般  (BL01011R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 粘度 ,  マイクロエレクトロメカニカルシステム ,  MEMS ,  潤滑