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J-GLOBAL ID：201202273541053852   整理番号：12A0215230

ブロック共重合体薄膜の表面再構成から得たナノポーラス・カーボンテンプレート

Nanoporous carbon template from surface reconstruction in block copolymer thin film

著者 (2件)： SHIN Kyusoon ,  BAE Joonwon
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 6  ページ： 2351-2355  発行年： 2012年01月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ブロック共重合体ミクロ分域の配位と横方向秩序化を精細にチューニングすることは,それをナノ構造作製のためのテンプレートとして応用するために重要である。また,プロセスは堅固,簡単,迅速,非破壊的であることも必要である。さらに,物質科学の分野において,自己集合化共重合体からの超薄ナノスケールカーボンテンプレートの作製は,已然として困難な課題である。ここでは,ブロック共重合体表面の表面再構成からのナノポーラス・カーボンテンプレート作製のための簡易法について述べた。トルエン溶液からミセル構造を持つポリ(スチレン-b-4-ビニルピリジン)薄膜を,ナノポーラス・カーボンテンプレートの形成ための犠牲層としてカーボンプリカーサ膜,ポリ(アクリロニトリル-b-メチルメタクリレート)上にスピンコーティングした。ビニルピリジンブロックがアルコールに関して選択的溶媒和を持つために,ナノポーラス膜の形成を引き起こす表面再構成が生じた。つづく反応性イオンエッチングと熱処理により,ナノポーラスで堅固なカーボンテンプレートが生じた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *多孔性 ,  表面再構成 ,  *ブロック共重合体 ,  高分子薄膜 ,  *鋳型反応 ,  ナノ構造 ,  自己集合 ,  溶媒和
準シソーラス用語： *ナノポーラス ,  *テンプレート【鋳型反応】 ,  自己集合化 ,  選択的溶媒和

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： ブロック共重合体 ,  薄膜 ,  表面再構成