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J-GLOBAL ID：201202273651753647   整理番号：12A0785786

表面応力容量バイオセンサーアレイの開発のための自己整合プロセス

Self-aligned process for the development of surface stress capacitive biosensor arrays

著者 (7件)： TSOUTI V. (Inst. of Microelectronics, NCSR “Demokritos”, Athens, Agia Paraskevi, 15310, GRC) ,  TSOUTI V. (Aisthisis Technologies, TE.S.P.A “Lefkippos”, Terma Patriarchou Grigoriou, 15310, Agia Paraskevi, Athens, GRC) ,  FILIPPIDOU M.k. (Aisthisis Technologies, TE.S.P.A “Lefkippos”, Terma Patriarchou Grigoriou, 15310, Agia Paraskevi, Athens, GRC) ,  BOUTOPOULOS C. (Dep. of Applied Sciences, National Technical Univ. of Athens, Zografou 15780, GRC) ,  BROUTAS P. (Inst. of Microelectronics, NCSR “Demokritos”, Athens, Agia Paraskevi, 15310, GRC) ,  ZERGIOTI I. (Dep. of Applied Sciences, National Technical Univ. of Athens, Zografou 15780, GRC) ,  CHATZANDROULIS S. (Inst. of Microelectronics, NCSR “Demokritos”, Athens, Agia Paraskevi, 15310, GRC)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 166-167  ページ： 815-818  発行年： 2012年05月20日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面応力に基づく容量バイオセンサーアレイの新規の製作過程と最初の実験的な結果を示す。柔軟な膜と基質上に固定した電極が容量センサーを構成する。プローブとなる分子は膜表面に固定され,生物的相互作用時の表面応力変動は膜を歪ませ,この柔軟な膜と固定された基質の間の容量を効果的に変化させる。アレイは60のセンサーで構成されており,それゆえ並列した感知に適切である。その過程を特徴づけるのは,感受性の柔軟な膜の自己整合と,完成した装置を組み立てるためのシリコンフュージョンボンディングの使用である。最初の実験的なバイオセンシングの結果はセンサーがベータサラセミアオリゴヌクレオチドのハイブリダイゼーションの検出が可能であることを示している。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *センサアレイ ,  *表面応力 ,  自己整合 ,  ボンディング【IC】 ,  *分子ハイブリダイゼーション ,  オリゴヌクレオチド ,  サラセミア ,  先天性疾患
準シソーラス用語： β-サラセミア

分類 (1件)： 生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 表面応力 ,  バイオセンサー ,  アレイ ,  開発 ,  自己整合 ,  プロセス