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J-GLOBAL ID：201202273896922827   整理番号：12A1727045

n-ドデカン内での超音波支援ラジオ周波数プラズマ放電

Study of ultrasound-assisted radio-frequency plasma discharges in n-dodecane

著者 (11件)： CAMEROTTO Elisabeth (imec, Leuven, BEL) ,  SCHEPPER Peter De (imec, Leuven, BEL) ,  CAMEROTTO Elisabeth (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  SCHEPPER Peter De (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL) ,  NIKIFOROV Anton Y (Ghent Univ., Ghent, BEL) ,  BREMS Steven (imec, Leuven, BEL) ,  SHAMIRYAN Denis (imec, Leuven, BEL) ,  BOULLART Werner (imec, Leuven, BEL) ,  LEYS Christophe (Ghent Univ., Ghent, BEL) ,  GENDT Stefan De (imec, Leuven, BEL) ,  GENDT Stefan De (Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 45  号： 43  ページ： 435201,1-8  発行年： 2012年10月31日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 液体炭化水素(n-ドデカン)において,安定なプラズマ相を生成することに初めて成功した。超音波(US),ラジオ周波数(RF)あるいは電磁放射などを用いて,安定なプラズマ相の生成を試みたところ,超音波支援RFプラズマ放電が液体n-ドデカン内で安定に生じることがわかった。12kPaの圧力下において,いくつかの混合比を持つ気体Ar/O₂に対してプラズマ着火パワーはRFでは100W,USでは2.4W cm^-2という低い数値であった。Cu,Ni,SiO₂,Siなどの基板上へのn-ドデカンの直接析出については,組成あるいは構造の基板材質による差はほとんど見られなかった。また,X線回折による構造解析から,析出した層はアモルファス相をとることがわかった。発光分析(OES)測定を行い,プラズマ励起温度が約2.3~2.4eVであることを見いだした。Arをフィードガスとして用いた場合のn-ドデカンの回転温度(1400K),振動温度(6500K)に対して,Ar/O₂混合ガスの場合の回転(1630K)と振動温度(7200K)がともに増大することも明らかにした。さらに,プラズマ処理後の液体プリカーサの構造変化について解析し論じた。

シソーラス用語： *超音波 ,  *放電 ,  X線回折 ,  発光分析 ,  振動温度 ,  回転温度 ,  アルカン
準シソーラス用語： *プラズマ放電

分類 (1件)： 液体・固体中の放電  (BJ03030E)

物質索引 (1件)： n-ドデカン

タイトルに関連する用語 (5件)： n-ドデカン ,  超音波 ,  支援 ,  ラジオ ,  プラズマ放電