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J-GLOBAL ID：201202274208468804   整理番号：12A0821786

非晶質シリコン系タンデム接続太陽電池用透明導電性酸化物薄膜のAZO被覆FTO膜による水素プラズマ耐久性改善の機構

Mechanism of an AZO-coated FTO film in improving the hydrogen plasma durability of transparent conducting oxide thin films for amorphous-silicon based tandem solar cells

著者 (5件)： CHANTARAT N. (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  HSU Shu-Han (National Nano Device Lab., Hsinchu, TWN) ,  LIN Chin-Ching (Industrial Technol. Res. Inst., Hsinchu, TWN) ,  CHIANG Mei-Ching (Industrial Technol. Res. Inst., Hsinchu, TWN) ,  CHEN San-Yuan (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 22  号： 16  ページ： 8005-8012  発行年： 2012年04月28日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フッ素ドーピング酸化スズ(FTO)薄膜を透明酸化物被膜にした非晶質シリコン太陽電池の水素プラズマ耐性をアルミニウムをドーピングした酸化亜鉛(AZO)が改善する機構を解析した。420°Cのガラス基板に噴霧焼成で被せたFTO膜にAZO膜を80°C以下のマグネトロンスパッタリングで堆積し,300°Cでアニールした。FTO,AZO各単独膜及びAZO/FTO二重膜に高密度化学蒸着装置で種々の温度と時間の水素プラズマに曝した。紫外可視吸収と透明度,Hall効果で見た電気的性質のプラズマへの安定性は単独FTOより二重層の方が優れている。AZO膜がないと酸化スズが金属に還元されて中途半端な酸化状態SnOが生じる。ただし照射後400°Cで処理すると復元する。この過程をXPSとSIMで観察できた。これがAZOが優れた保護膜になる理由である。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  *アモルファスシリコン ,  *保護膜 ,  *透明導電膜 ,  *酸化スズ ,  *酸化亜鉛 ,  *アルミニウム ,  *ドーピング ,  *プラズマ ,  化学蒸着 ,  紫外可視吸収スペクトル ,  透明度 ,  Hall効果 ,  安定化 ,  *耐久性 ,  状態
準シソーラス用語： *FTO ,  酸化還元状態 ,  *水素プラズマ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (8件)： 非晶質シリコン ,  タンデム ,  太陽電池 ,  透明導電性酸化物 ,  薄膜 ,  Azo ,  FTO ,  水素プラズマ