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J-GLOBAL ID：201202274346939800   整理番号：12A0171635

遠隔プラズマ原子層堆積法により作成された薄膜マイクロ電池用Co₃O₄アノード材料

Co₃O₄ as anode material for thin film micro-batteries prepared by remote plasma atomic layer deposition

著者 (6件)： DONDERS M.e. (Materials innovation institute M2i, P.O. Box 5008, 2600 GA Delft, NLD) ,  DONDERS M.e. (Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  KNOOPS H.c.m. (Materials innovation institute M2i, P.O. Box 5008, 2600 GA Delft, NLD) ,  KNOOPS H.c.m. (Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  KESSELS W.m.m. (Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD) ,  NOTTEN P.h.l. (Eindhoven Univ. of Technol., P.O. Box 513, 5600 MB Eindhoven, NLD)
資料名： Journal of Power Sources  (Journal of Power Sources)
巻： 203  ページ： 72-77  発行年： 2012年04月01日 
JST資料番号： B0703B  ISSN： 0378-7753  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広い温度範囲(100-400°C)でCoCP₂をコバルト前駆体として用い,酸素源として遠隔O₂プラズマによる遠隔プラズマ原子層堆積法(ALD)により酸化コバルト薄膜を堆積させた。ALDサイクル当たり0.05nmで生長速度は比較的早く,高い堆積密度(~5.8gcm^-3)が得られ,化学量論Co₃O₄であった。電気化学分析の為Co₃O₄は,Li拡散を防ぐ為にALD合成したTiN層で被覆したSi基板上に堆積した。堆積したままの電極は,電気化学インピーダンス分光法(EIS)と組み合わせた定電流(CC)充電/放電サイクルと定電流断続的滴定法(GITT)を用いた3電極電気化学セルで検討された。文献に比較してALD堆積したCo₃O₄は高い電気化学活性(~1000mAhg^-1)と固体電解質境界面の生成がEISで確認された。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *二次電池 ,  薄膜 ,  プラズマ応用 ,  *化学蒸着 ,  *酸化コバルト ,  電気化学インピーダンス ,  固体電解質 ,  リチウム化合物 ,  金属イオン
準シソーラス用語： マイクロ電池 ,  *原子層堆積 ,  リチウムイオン

分類 (1件)： 二次電池  (YB04030K)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  原子層堆積法 ,  薄膜 ,  マイクロ電池 ,  アノード材料