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J-GLOBAL ID：201202275355045265   整理番号：12A0237351

高速半導体ウエハ搬送ロボット

著者 (3件)： 野林繁美 (安川電機) ,  古市昌稔 (安川電機) ,  小淵信一 (安川電機)
資料名： 技報安川電機  (Yaskawa Technical Review)
巻： 75  号： 3  ページ： 158-161  発行年： 2011年12月20日 
JST資料番号： F0381A  ISSN： 0918-242X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 当社は,半導体ウエハの微細化処理や搬送時の高速化など多様化する市場要求に合わせて,顧客向けに特化した製品を中心にウエハ搬送ロボットシステムを提供し,現在までに2万台以上の納入実績を有している。この実績をベースに高い信頼性を確保し,モジュール(ロボットとその周辺機器)の標準化とシリーズ化を図ったSEMISTAR-Mシリーズをラインアップしている。本稿では,SEMISTAR-Mシリーズとして,300~450mmウエハの高速搬送クリーンロボットSEMISTAR-MR124を紹介している。(著者抄録)

シソーラス用語： *産業用ロボット ,  *ウエハ【IC】 ,  クリーンルーム ,  *高速化 ,  エンドエフェクタ ,  *運搬ロボット
準シソーラス用語： 半導体製造装置 ,  *搬送ロボット

分類 (2件)： 産業用ロボット  (IC04020M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (1件)：

• 1) 松下. "半導体ウエハ搬送モジュラーシステム". 技報 安川電機, Vol.71,No.276,p.158 (2007,No.3)

タイトルに関連する用語 (2件)： 半導体ウエハ ,  搬送ロボット