文献

J-GLOBAL ID：201202275834603230   整理番号：12A1457749

珪素に基づく熱電子工学とフォトニクス用の珪素-珪化物材料の創造手法

Approach to a creation of silicon-silicide smart materials for silicon based thermoelectronics and photonics

著者 (5件)： GALKIN N. G. (Inst. Automation and Control Processes, Russian Acad. Sci., Vladivostok, RUS) ,  CHUSOVITIN E. A. (Inst. Automation and Control Processes, Russian Acad. Sci., Vladivostok, RUS) ,  GALKIN K. N. (Inst. Automation and Control Processes, Russian Acad. Sci., Vladivostok, RUS) ,  GOROSHKO D. L. (Inst. Automation and Control Processes, Russian Acad. Sci., Vladivostok, RUS) ,  SHAMIRSAEV T. S. (Inst. Semiconductor Physics, Russian Acad. Sci., Novosibirsk)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8409  号： Pt.2  ページ： 84091W.1-84091W.11  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 鉄とクロムの二珪化物及びマンガン二珪化物を埋込んだ多層(4~10層)モノリシック及び多結晶ナノ複合膜を(111)及び(100)珪素基板上に極高真空成長技術により成長させた。これらの複合膜は優れた熱電気的性質を有し,p-n接合のメサダイオード構造で波長1.2~1.6μmを強く発光した。ナノ複合膜中にMg₂Siナノ結晶をドープする工程を開発した。N型とP型電気伝導ナノ複合膜を成長させることに成功した。

シソーラス用語： *ケイ化物 ,  *マグネシウム化合物 ,  *電子技術 ,  ナノ結晶 ,  結晶構造 ,  電気伝導率 ,  光ルミネセンス ,  *発光スペクトル ,  ケイ素 ,  鉄化合物 ,  クロム化合物 ,  N型半導体 ,  P型半導体 ,  複合膜
準シソーラス用語： *ケイ化マグネシウム ,  ケイ化鉄 ,  フォトニクス ,  珪化クロム ,  *熱電子工学

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 珪素 ,  工学 ,  フォトニクス ,  珪化物 ,  創造 ,  手法