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J-GLOBAL ID：201202275992098631   整理番号：12A0425588

低駆動力におけるOhm接触スイッチの電気的接触抵抗に対する表面粗さの定義の影響

Impact of the Surface Roughness Description on the Electrical Contact Resistance of Ohmic Switches Under Low Actuation Forces

著者 (6件)： PENNEC Fabienne (Toulouse Univ., Toulouse, FRA) ,  PEYROU David (Toulouse Univ., Toulouse, FRA) ,  LERAY Dimitri (Inst. National des Sci. Appliquees of Toulouse, Ministry of Education and Res., Toulouse, FRA) ,  PONS Patrick (Toulouse Univ., Toulouse, FRA) ,  PLANA Robert (Toulouse Univ., Toulouse, FRA) ,  COURTADE Frederic (Centre National d’Etudes Spatiales, Toulouse, FRA)
資料名： IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology  (IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology)
巻： 2  号： 1/2  ページ： 85-94  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： W0590B  ISSN： 2156-3950  CODEN： ITCPC8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新世代のRF MEMSデバイスを提案するためには,適切な材料,形態およびアーキテクチャを選ぶために接触の物理メカニズムを知ることが重要である。MEMSスイッチにおいては,接点における接触力は非常に小さいので表面粗さ定義が重要な影響因子である。本稿では,マイクロスイッチの表面粗さについてのより複雑な定義法について解析した。走査サイズの選択と粗さの離散化ステップ限界に特に注目した。有限要素法を使って複雑な微細寸法形状と粗さ間の相互作用に関する情報を失うことなく接触解析を行った。作成したモデルを試験構造で試験した。最小定義した原子間力顕微鏡(AFM)の10nmサンプリング間隔で,実際の接触表面形状を含み,有限要素接触解析を行った。

シソーラス用語： *Ohm接触 ,  *マイクロスイッチ ,  MEMS ,  接点現象 ,  力 ,  *表面粗さ ,  接触抵抗 ,  有限要素法 ,  原子間力顕微鏡
準シソーラス用語： MEMSスイッチ ,  接触力

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気接点  (NA05070V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 駆動力 ,  Ohm接触 ,  接触抵抗 ,  表面粗さ ,  定義