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J-GLOBAL ID：201202276788493714   整理番号：12A1219581

ブラシスクラバー洗浄時の粒子除去効率に及ぼすPVAブラシ小塊の構造的効果

Structural Effect of PVA Brush Nodule on Particle Removal Efficiency during Brush Scrubber Cleaning

著者 (3件)： AN Joonho (Pusan National Univ., Pusan, KOR) ,  PARK Yeongbong (Pusan National Univ., Pusan, KOR) ,  JEONG Haedo (Pusan National Univ., Pusan, KOR)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 516  ページ： 84-89  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 粒子除去効率に及ぼす異なる小節高さと小節間隙を持つブラシ小節構造の影響を調べるため,ブラシ洗浄時のブラシとウエハ表面間の界面の摩擦力を測定する監視システムを準備した。ブラシ小節構造の機械的影響を確認するため,ポリスチレンラテックス(PSL)粒子(平均径:300nm)で汚染された酸化物ウエハを,イオン除去水を用いて,異なるブラシ小節構造を持つ各PVAブラシで洗浄した。シリカ粒子(平均形:22nm)と化学溶液(NH₄OH,0.1wt%)も,化学援助粒子除去を調べるために使用した。残留粒子を,Surfscan 6420(KLA Tencor)で測定し,摩擦力監視を,Cleaner812-L(G&P Technology)を用いて行った。PVAブラシスクラバー洗浄時に,より高い小節高さがより低い摩擦力を生じ,一方,より低い小節間隙によるより高い小節表面接触面積が,より高い摩擦力を生じた。PVAブラシのより高い摩擦力は,より高いPVA粒子除去効率に結びつくが,粒子,ブラシとウエハ表面間のゼータ電位と化学反応(毛管力)が粒子除去効率に影響を及ぼすことができた。

シソーラス用語： スクラッバ ,  粒子 ,  *洗浄 ,  *ブラシ ,  除去 ,  *ポリビニルアルコール ,  *ウエハ【IC】 ,  摩擦力 ,  ポリスチレン ,  ラテックス ,  汚染 ,  水酸化アンモニウム ,  ζ電位 ,  毛管力 ,  化学反応 ,  残留物 ,  比率 ,  半導体素子 ,  監視装置 ,  効果 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  *シリコンウエハ洗浄 ,  ポリスチレンラテックス ,  材料除去率 ,  洗浄効果

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ブラシ ,  スクラバー ,  洗浄 ,  除去効率 ,  塊