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J-GLOBAL ID：201202276875044918   整理番号：12A0546285

Langmuir探針測定によるスズ及びクロム金属プラズマの研究

Investigation of Tin and Chromium Metal Plasmas by Langmuir Probe Measurements

著者 (1件)： BURM K. T. A. L. (PlasmAIX for Plasma Res., Heimerik 47, 2440, Geel, BEL)
資料名： Plasma Chemistry and Plasma Processing  (Plasma Chemistry and Plasma Processing)
巻： 32  号： 2  ページ： 393-399  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： H0836A  ISSN： 0272-4324  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スズ及びクロム被覆の蒸着過程でダブルLangmuir探針測定を行い,これらの金属プラズマのイオン化度及び熱平衡からのずれを調べた。調べたプラズマは高度にイオン化しており,また熱平衡から大きくずれていた。Copyright 2012 Springer Science+Business Media, LLC Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  スズ ,  クロム ,  *プラズマ診断 ,  Langmuir探針 ,  熱平衡 ,  プラズマ平衡 ,  金属蒸気 ,  保護膜
準シソーラス用語： イオン化度 ,  金属プラズマ

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (5件)： Langmuir探針 ,  スズ ,  クロム ,  金属プラズマ ,  研究