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J-GLOBAL ID：201202276897596280   整理番号：12A0444283

新しいハイブリッド微細加工法を用いて作製した微小電極アレイ

Microelectrode arrays fabricated using a novel hybrid microfabrication method

著者 (4件)： MERLO Mark W. (Univ. of California, Dep. of Biomedical Engineering, 92697, Irvine, CA, USA) ,  SNYDER Russell L. (Univ. of California, Dep. of Otolaryngology, Epstein Lab., 94143, San Francisco, CA, USA) ,  MIDDLEBROOKS John C. (Univ. of California, Dep. of Otolaryngology, 92697, Irvine, CA, USA) ,  BACHMAN Mark (Univ. of California, Dep. of Electrical Engineering & Computer Sci., 92697, Irvine, CA, USA)
資料名： Biomedical Microdevices  (Biomedical Microdevices)
巻： 14  号： 1  ページ： 193-205  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W1312A  ISSN： 1387-2176  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小ワイヤアセンブリ,MEMS加工法,及び精密ツール-利用微細加工を組合せた微小電極アレイ用ハイブリッド微細加工法を提案した。この組合せは複雑な形状と構造を作製でき,材料の選択性を増大でき,集積化を改善できる。32チャネルシャンク微小電極アレイを作製し,この手法の利点を示した。電極シャンクの最狭部は130μm,厚みは127μmであり150μmの間隔で直径が25μmの酸化イリジウム電極を配置した。絶縁型金ワイヤのマイクロアセンブリを微細モールド成形に含ませた。電極部位の位置精度の標準偏差は4μm未満であった。急性in vivo32チャネル記録を行い,市販の微小電極アレイと同等の性能を得た。Copyright 2011 Springer Science+Business Media, LLC Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *生体用電極 ,  *微小電極 ,  ハイブリッド方式 ,  微細加工 ,  MEMS ,  シャンク ,  酸化イリジウム ,  in vivo実験 ,  生体計測 ,  スパイク電位
準シソーラス用語： マイクロワイヤ ,  マイクロ成形 ,  多チャネル ,  *微小電極アレイ

分類 (1件)： 生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細加工法 ,  作製 ,  微小電極アレイ