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J-GLOBAL ID:201202276998273091   整理番号:12A1066284

連続電解質フリージェットを用いた微細加工

Micro machining with continuous electrolytic free jet
著者 (6件):
資料名:
巻: 36  号:ページ: 612-619  発行年: 2012年10月 
JST資料番号: A0734B  ISSN: 0141-6359  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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電気化学マシニング(ECM)は,高精度微細製作法として有望な方法である。特に如何なる熱的又は機械的な衝撃無しに,又材料硬度から独立して金属ワークピースのマシニングを行うことに重要な特色がある。本稿では,複雑な微細形状と微細構造を持つ表面製作のための特別な方法を研究した。これは連続電解質フリージェット(ジェット電気化学マシニング-ジェットECM)を援用して行う。本技術の特徴は,ジェットによって局所的エリアに対し限定的な電流を流すことにある。このやり方で電流とノズル位置を変化させ,容易に除去エリアの高度な局部化が制御でき達成される。パルスECプロセスと比較して,連続直流電流の印加と高い溶解速度が可能である。最初に有限要素法を援用してマシニングプロセスをシミュレートした。それ故商用シミュレーションソフトウエアCOMSOL Multiphysicsを用いて時間依存型計算ルールを適用した。本ジェットECMを定量化するため実験を行った。シミュレーションと実験結果を比較した結果,良好な一致が見られた。更に点浸食,切削,ドリリング及びフライス加工についてのジェットECM応用可能性を示すための実験も行った。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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