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J-GLOBAL ID：201202277009229450   整理番号：12A1405286

スペックル干渉計測および周波数掃引関数を用いたピエゾ電気薄板の共鳴モード測定

Measurement of resonant mode of piezoelectric thin plate using speckle interferometry and frequency-sweeping function

著者 (2件)： CHANG Ching-yuan (National Taiwan Univ., No. 1, Sec. 4, Roosevelt Road, Taipei 10617, Taiwan) ,  MA Chien-ching (National Taiwan Univ., No. 1, Sec. 4, Roosevelt Road, Taipei 10617, Taiwan)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 83  号： 9  ページ： 095004-095004-9  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,時間領域における標準偏差に基づいて,電子スペックルパターン干渉計測の周波数掃引関数を提案する。提案した方法は共鳴振動の測定を容易にし,安定かつ明確な干渉縞を与える。本研究は,提案した方法を用いて求めた動的応答を検証するために有限要素法およびインピーダンスアナライザーを用いて,薄いピエゾ電気板の第三面内固有モードを調べた。干渉縞の振動振幅を解析してサブミクロン規模で定量的結果を求めた。実験結果間の密接な一致は,共鳴状態を求めるために周波数掃引関数用いることの有効性を証明し,共鳴の精密な予測を与える。さらに,差引,平均,そして標準偏差法を用いて求めた干渉縞の統計的解析を行った。結果は,標準偏差法が縞パターンのより高い品質および安定性を与えた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： スペックル干渉法 ,  *圧電気 ,  *薄板 ,  振動モード ,  共振 ,  計測 ,  標準偏差 ,  干渉縞 ,  有限要素法 ,  分析機器 ,  インピーダンス ,  固有モード ,  振動振幅
準シソーラス用語： 周波数掃引

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： スペックル干渉計測 ,  周波数掃引 ,  関数 ,  ピエゾ電気 ,  薄板 ,  共鳴モード