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J-GLOBAL ID：201202277255104623   整理番号：12A1078549

構造化遺伝的アルゴリズムを使用した超精密位置決め装置のための位相安定化制御器の最適化

Optimization of a phase stabilization controller for an ultra-precision positioning stage using a structured genetic algorithm

著者 (4件)： YANG Jin (Tsinghua Univ., CHN) ,  ZHU Yu (Tsinghua Univ., CHN) ,  YIN Wensheng (Tsinghua Univ., CHN) ,  HU Chuxiong (Tsinghua Univ., CHN)
資料名： Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part I. Journal of Systems and Control Engineering  (Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers. Part I. Journal of Systems and Control Engineering)
巻： 226  号： 6  ページ： 841-851  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W1571A  ISSN： 0959-6518  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ウェハーステッパスキャナ,走査型トンネル顕微鏡,精密機械ツールに使用される超精密位置決め装置のための実用的制御器最適化スキームについて検討した。この装置は,構造的および電気的要素の特性に基づく機械的共振および時間遅れに悩まされ,さらに空気軸受けで支持され,ボイスコイルで駆動されるので擾乱に対し非常に敏感となる。これらの問題解決のため制御器最適化では,ノッチベースPID制御器の代わりに,制御器の設計をより柔軟に,性能向上できる位相安定化制御器を使用した。制御器設計に構造化遺伝的アルゴリズムを使用し,制御器の構造とパラメータを選定した。最適化された制御器を手動同調型の制御器と比較し有用性を比較した。

シソーラス用語： 位置決め ,  *位置制御 ,  遺伝的アルゴリズム ,  *位相安定化 ,  走査型トンネル顕微鏡 ,  ステッパ ,  ノッチフィルタ ,  遅れ ,  共振 ,  精度
準シソーラス用語： *ナノ位置決め ,  位置決め精度 ,  共振振動 ,  時間遅れ

分類 (1件)： 工作機械要素,ジグ,チャック  (QC01020Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： 構造化 ,  遺伝的アルゴリズム ,  精密位置決め ,  位相安定化 ,  制御器 ,  最適化