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J-GLOBAL ID:201202277314780654   整理番号:12A1102792

水晶振動子・光導波路分光複合センサを用いた鉛フタロシアニン薄膜の堆積評価

In-situ Evaluation of Lead Phthalocyanine Thin Film Deposition Using a Hybrid Sensor of Quartz Crystal Microbalance and Optical Waveguide Spectroscopy
著者 (6件):
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巻: DEI-12  号: 74-83  ページ: 43-46  発行年: 2012年07月19日 
JST資料番号: Z0908B  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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有機太陽電池材料である鉛フタロシアニン(PbPc)の真空蒸着膜の作製時における光学物性をQCM(水晶振動子微小天秤)・OWG(光導波路)分光一体型複合素子を用いて評価した。著者らは,機能性材料薄膜の薄膜厚さと光学特性の関係を簡便かつ詳細に測定できるQCM・OWG分光複合素子を提案している。本研究では,光ファイバを真空槽内に導入することで真空蒸着膜の作成過程をその場で測定できる装置を構築し,前記複合センサの動作を検討するためにPbPc真空蒸着薄膜の堆積過程における光学特性を評価した。また,偏光子を用いて分子配向性を調べ,基板表面処理による有機薄膜中の結晶の違いについても検討した。一連の検討結果から得られた知見を提示し,本複合センサの有効性を確認した。
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分類 (1件):
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太陽電池 
引用文献 (15件):

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