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J-GLOBAL ID：201202278872711720   整理番号：12A0852188

動的静電リソグラフィー 大面積の曲面上におけるマルチスケールのオンデマンドパターン形成

Dynamic Electrostatic Lithography: Multiscale On-Demand Patterning on Large-Area Curved Surfaces

著者 (4件)： WANG Qiming (Duke Univ., NC, USA) ,  TAHIR Mukarram (Duke Univ., NC, USA) ,  ZANG Jianfeng (Duke Univ., NC, USA) ,  ZHAO Xuanhe (Duke Univ., NC, USA)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 24  号： 15  ページ： 1947-1951  発行年： 2012年04月17日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 片面に金属電極を形成したポリイミド(Kapton)フィルムの他面に一軸延伸した架橋シリコーンゴム層を貼り付け,表面に電極層を形成した。電極間の高電圧印加によるシリコーンゴム表面構造変化を共焦点顕微鏡により観察した。波状表面構造の波長を高分子膜厚および誘電率の関数として記述した。

シソーラス用語： リソグラフィー ,  駆動 ,  重合体 ,  シリコーンゴム ,  *表面構造 ,  共焦点顕微鏡 ,  誘電率 ,  ポリイミド ,  延伸 ,  電極 ,  *パターン形成 ,  面積 ,  曲面 ,  *電気機械効果 ,  *高分子膜
準シソーラス用語： 架橋高分子 ,  金属電極 ,  静電駆動 ,  大面積 ,  電圧印加 ,  *動的静電リソグラフィー ,  膜厚依存性 ,  一軸延伸

分類 (3件)： 固体の表面構造一般  (BK15010E) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

タイトルに関連する用語 (6件)： リソグラフィー ,  大面積 ,  曲面 ,  マルチスケール ,  オンデマンド ,  パターン形成