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J-GLOBAL ID：201202278932892486   整理番号：12A0867372

両面螺旋電極によって駆動する圧電ダイヤフラムの変位及び共振挙動

Displacement and resonance behaviors of a piezoelectric diaphragm driven by a double-sided spiral electrode

著者 (4件)： SHEN Zhiyuan (Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP) ,  OLFATNIA Mohammad (Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP) ,  MIAO Jianmin (Nanyang Technological Univ., Singapore, SGP) ,  WANG Zhihong (King Abdullah Univ. Sci. and Technol., Thuwal, SAU)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 21  号： 5  ページ： 055001,1-9  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： バルクPZTウエハをSU-8層に集積化したMEMS圧電ダイヤフラムを作製し,両面螺旋電極のを用いて等価面内d₃₃アクチュエータを実現した。二次元均一電場モデルを用いてダイヤフラムの変形解析を行った。両面位相ずれ駆動はダイヤフラム変位を増大でき,電極間隔と不活性領域半径の低減によって中心変位を増大できた。ダイヤフラムの直径が2mm,電極間隔が90μm,不活性領域が250μmの時,変位は8.6nm/V,電気機械結合係数は11.8%であった。

シソーラス用語： *ダイヤフラム ,  変位 ,  共振 ,  挙動 ,  解析モデル ,  螺旋 ,  両面 ,  *アクチュエータ ,  電極 ,  MEMS ,  駆動 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  電気特性
準シソーラス用語： SU-8 ,  *圧電アクチュエータ ,  位相ずれ ,  変形解析

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (7件)： 両面 ,  螺旋 ,  圧電 ,  ダイヤフラム ,  変位 ,  共振 ,  挙動