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J-GLOBAL ID:201202279707856523   整理番号:12A0599907

ビスマスの組成比が大きいGaN1-xBix合金の分子ビームエピタクシー

Molecular beam epitaxy of GaN1-xBix alloys with high bismuth content
著者 (20件):
資料名:
巻: 209  号:ページ: 419-423  発行年: 2012年03月 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 1862-6300  CODEN: PSSABA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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最近,有機金属気相成長法(MOCVD)および分子ビームエピタクシー(MBE)によって,少ない組成量を含むGaAs1-xBixの成長が可能であることが報告されて。ここでは,ビスマスの組成比が大きい場合について,プラズマ支援のMBE法によって格子不整合の大きいGaN1-xBix合金を成長させた。GaリッチおよびNリッチの成長条件下において,100°C以下の成長温度でGaNに混入するビスマス量を解析した。電子プローブマイクロアナライザによって,GaN1-xBix層におけるBiの横方向の均一な分布を確認し,Rutherford後方散乱分析と二次イオン質量分析法によってBiの深さ方向の均一性を確認した。また,非晶質のGaN1-xBix合金に埋め込まれた微結晶クラスタの形成が確認された。非晶質マトリックスは,ランダムな微結晶GaN1-xBix合金に似た短距離秩序を有する。更に,非晶質GaN1-xBix合金は,Gaリッチな成長条件下において促進されることが判明した。薄膜は非晶質であるにも拘わらず,明瞭な光の吸収端が確認された。
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半導体薄膜 
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