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J-GLOBAL ID：201202279777621108   整理番号：12A0785213

圧電音響デバイスの集積化=異種要素の集積化による圧電音響デバイスの高機能化・高性能化=

著者 (2件)： 田中秀治 (東北大) ,  江刺正喜 (東北大)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 24  号： 3  ページ： 48-52  発行年： 2012年06月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 圧電音響デバイスはICとの集積化が進んでいないデバイスである。また,ICやMEMSとの集積化を目指してSi静電音響デバイスが研究されているが,圧電音響デバイスを代替することは困難であり,高機能化・小形化には圧電音響デバイスとICやMEMSとを集積化する「ヘテロ集積化技術」を必要とする。本稿では,東北大学が開発しているウェハレベルヘテロ集積化技術につき紹介した。本稿では,圧電音響デバイスの集積化技術として,ICウェハヘのフィルムトランスファ技術,ヘテロウェハ接合技術,SAWデバイスとMEMSの集積化技術について述べた。

シソーラス用語： 音響機器 ,  機能素子 ,  *音響変換器 ,  *圧電素子 ,  MEMS ,  集積
準シソーラス用語： *音響デバイス ,  MEMSデバイス ,  *集積化

分類 (3件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  音響変換器,その他の機器  (BB03060N) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 圧電 ,  音響デバイス ,  集積化 ,  要素 ,  高機能化 ,  高性能化