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J-GLOBAL ID：201202281231724059   整理番号：12A1000734

ITOナノスフェアの合体駆動サイズ制御合成

Coalescence driven size-controlled synthesis of ITO nanospheres

著者 (11件)： KANG J.h. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  UTHIRAKUMAR P. (Dep. of Chemistry, Sona Coll. of Technol., TPT Road, Salem 636 005, Tamil nadu, IND) ,  KATHARRIA Y.s. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  RYU J.h. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  KIM H.k. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  KIM H.y. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  HAN N. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  PARK Y.j. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  BEAK Y.s. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  KIM S.m. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...) ,  HONG C.-h. (Semiconductor Physics Res. Center, School of Semiconductor and Chemical Engineering, Chonbuk National Univ., Jeonju ...)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 22  ページ： 8996-9004  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 各種サイズの酸化インジウムスズ(ITO)ナノスフェアを合成する十分制御されたプロセスを提案した。さらに,このプロセスは,一つの上にもう一つをスタックした多層ITOナノスフェアを成長させるように拡張した。ナノスフェアを得るために,電子ビーム蒸着ITO膜を,希釈HCl溶液を用いて選択的にウェットエッチした。ITOナノスフェアのサイズをITO膜の厚さを変えることにより制御した。エッチング反応及び合体に基づくモデルを提案し,エッチング時間及びエッチャント濃度によるナノスフェアのサイズの展開を再現した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化インジウムスズ ,  *ナノ粒子 ,  *電子ビーム蒸着 ,  選択腐食 ,  合体 ,  制御 ,  モデリング ,  透明導電膜 ,  *エッチング ,  ナノ結晶 ,  凝集 ,  粒度分布 ,  *ウェットエッチング
準シソーラス用語： *ナノスフェア ,  寸法制御 ,  *選択エッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： ITO ,  ナノスフェア ,  合体 ,  サイズ制御