文献

J-GLOBAL ID：201202281437738510   整理番号：12A0997102

超音波によって噴霧された前駆体を使用したレーザCVDによるc軸配向Y₂Ba₄Cu₇O_15-δ膜の生成

Preparation of c-axis-oriented Y₂Ba₄Cu₇O_15-δ Films by Laser CVD with Ultrasonically Nebulized Precursor

著者 (3件)： ITO Akihiko (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SATO Mitsutaka (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  GOTO Takashi (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 508  ページ： 207-210  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温超電導性酸化膜の中で,YBa₂Cu₃O_7-δ(Y123),YBa₂Cu₄O₈(Y124)およびY₂Ba₄Cu₇O_15-δ(Y247)を含むイットリウム-バリウム-銅複合酸化物は精力的に研究されてきた。本研究では超音波によって噴霧された液体前駆体を使用した新しいレーザCVDを開発し,多層被覆Hastelloy型基板上に単相c軸配向Y247膜を生成した。その結果,0.01mol l^-1の前駆体濃度と933Kの堆積温度で(100)CeO₂バッファー多層被覆HastelloyC273型基板に単相c軸配向Y247膜を得ることができた。また0.1mol l^-1の前駆体濃度と983Kの堆積温度で,a軸配向Y123膜をc軸配向Y247膜と同時堆積できた。

シソーラス用語： 高温超伝導体 ,  *酸化物 ,  *イットリウム化合物 ,  *バリウム化合物 ,  *銅化合物 ,  配向 ,  *超伝導薄膜 ,  *レーザCVD ,  基板 ,  酸化セリウム ,  セラミック被覆 ,  ハステロイ ,  イットリウム錯体 ,  配位子 ,  ジケトン ,  脂肪族ケトン ,  バリウム錯体 ,  銅錯体 ,  噴霧 ,  前駆体 ,  イットリウムバリウム銅酸化物
準シソーラス用語： dpm ,  Y123 ,  *Y247 ,  超音波噴霧

分類 (2件)： 酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I) ,  半導体薄膜  (BK14040E)

物質索引 (1件)： ジピバロイルメタン

タイトルに関連する用語 (5件)： 超音波 ,  噴霧 ,  前駆体 ,  レーザCVD ,  c軸配向