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J-GLOBAL ID：201202281516080538   整理番号：12A0954768

偏光選択ファイバシリコン導波路結合用集積化SU-8プリズムと微小格子

Integrated SU-8 Prisms and Microgratings for Polarization-Selective Fiber-to-Silicon Waveguide Coupling

著者 (5件)： HUANG Sheng-Wen (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  KU Kai-Ning (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  LEE Ming-Chang Mark (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  NGUYEN Minh-Hang (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN) ,  TSENG Fan-Gang (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： IEEE Photonics Technology Letters  (IEEE Photonics Technology Letters)
巻： 24  号： 9-12  ページ： 1054-1056  発行年： 2012年05月01日 
JST資料番号： T0721A  ISSN： 1041-1135  CODEN： IPTLEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： SOIフォトニクスによる1つのチップ上の大規模フォトニクスシステムが研究されているが,導波路チップ結合などの問題がある。筆者らはSU-8プリズムを用いたファイバ導波路結合を提案している。本稿では,SiON導波路とSi導波路の光結合を検討した。単一モードファイバのコアに合わせてSU-8プリズム寸法を決定した。シリコン酸化膜の分離層を設けたSi導波路上にSiON導波路を作製し,SiON導波路とSU-8プリズムを直接接合させた。本デバイスの透過スペクトルなどを測定し,シミュレーションと比較した。この結果により,ファイバ間の全挿入損は10dBであることを示した。SiON導波路は1.5dBの損失で,微小格子は3dBの寄与であった。

シソーラス用語： 偏光性 ,  *光ファイバ ,  *光導波路 ,  導波路 ,  集積光学 ,  フォトレジスト ,  *回折格子 ,  単一モードファイバ ,  挿入損 ,  シミュレーション ,  スペクトル ,  プリズム
準シソーラス用語： SU-8 ,  シリコン ,  シリコン細線導波路 ,  ファイバ ,  結合効率 ,  結合伝送線路 ,  *光学結合 ,  光集積化

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (9件)： 偏光 ,  ファイバ ,  シリコン ,  導波路 ,  集積化 ,  SU-8 ,  プリズム ,  微小 ,  格子