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J-GLOBAL ID：201202281999849381   整理番号：12A1036727

低真空SEMによる紙の観察と分析

著者 (1件)： 西村雅子 (日立ハイテクノロジーズ)
資料名： 紙パルプの技術
巻： 63  号： 1  ページ： 48-52  発行年： 2012年07月12日 
JST資料番号： G0088B  ISSN： 0287-5586  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 走査電子顕微鏡(SEM)の原理を説明し,低真空観察法とその紙パルプへ応用例を紹介した。SEMは電子ビームを照射し,発生する二次電子により表面微細構造を,反射電子により組成分布を測定できる。無導電性試料はこれまで,試料表面に金属を蒸着させて観察していたが,低真空にすると,無蒸着で測定できる。しかし二次電子は残留ガスと衝突してエネルギーを失うために,反射電子を用いて像を形成させる。塗工紙,印字紙,スクラッチカードの測定例を示した。

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *紙パルプ工業 ,  電子 ,  塗工紙
準シソーラス用語： 計測原理 ,  *製品紹介 ,  *低真空走査電子顕微鏡法 ,  反射電子 ,  二次電子

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  紙・パルプ工業一般  (YL01010X)

引用文献 (2件)：

• 1) 日本電子顕微鏡学会関東支部編,「走査電子顕微鏡」, 共立出版, 2000.
• 2) Yamada.M and Kuboki.K,“Development of Natural SEM and some applications”, Acta Microscopica, 2, No.1, 1993, pp.1-13.

タイトルに関連する用語 (4件)： 低真空SEM ,  紙 ,  観察 ,  分析