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J-GLOBAL ID：201202282249211985   整理番号：12A1601866

2mmの空間分解能での気体大気圧プラズマのFourier変換赤外吸収分光法特性評価

Fourier transform infrared absorption spectroscopy characterization of gaseous atmospheric pressure plasmas with 2 mm spatial resolution

著者 (7件)： LAROCHE G. (Lab. d’Ingenierie de Surface, Centre de Rech. sur les Materiaux Avances, Dep. de genie des mines, de la metallurgie ...) ,  VALLADE J. (Lab. Procedes, Materiaux et Energie Solaire, PROMES, CNRS, Technosud, Rambla de la Thermodynamique, F-66100 ...) ,  BAZINETTE R. (Lab. Procedes, Materiaux et Energie Solaire, PROMES, CNRS, Technosud, Rambla de la Thermodynamique, F-66100 ...) ,  VAN NIJNATTEN P. (OMT Solutions bv, High Tech Campus 9, 5656AE Eindhoven, NLD) ,  HERNANDEZ E. (Lab. Procedes, Materiaux et Energie Solaire, PROMES, CNRS, Technosud, Rambla de la Thermodynamique, F-66100 ...) ,  HERNANDEZ G. (Lab. Procedes, Materiaux et Energie Solaire, PROMES, CNRS, Technosud, Rambla de la Thermodynamique, F-66100 ...) ,  MASSINES F. (Lab. Procedes, Materiaux et Energie Solaire, PROMES, CNRS, Technosud, Rambla de la Thermodynamique, F-66100 ...)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 83  号： 10  ページ： 103508-103508-7  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文は,大気圧プラズマにおけるFourier変換赤外(FTIR)吸収スペクトルを,2mmの空間分解能で記録するために建設した光学装置を述べる。全般的システムは三つの基本部分から成った:FTIR試料区画の中に配置した1)光学部品で,分光計とプラズマ反応器の間に配置した2)光学的インタフェイスによって,プラズマのサイトにおいて画像化する,赤外ビームのサイズ(50mmの経路長さにわたって2mm×2mm)を,規定することを可能にする。一度プラズマ領域を通って,プラズマ反応器の後ろに配置した3)後方反射器モジュールは,ビームを狭帯域テルル化水銀-カドミウム検出器に向けて反射するために,45°ビームスプリッタまで入射経路に一致して赤外ビームを向けなおした。アンモニアとシランを用いて行った抗反射プラズマ被覆実験は,アルゴンの中のそれぞれ42及び2ppmのこれらの種を,定量することが可能であることを実証した。アンモニアの場合においてこれは,プラズマ被覆実験において典型的に使われるこの気体の濃度より,ほぼ1/3小さい一方,定量化のシラン限界は1/35低かった。さらに入来する赤外放射の70%がプラズマのサイトにおいて2mmの幅の中に集束され,予想される空間分解能と合理的に一致した。この空間分解能に到達する可能性は,その様に我々に,気体前駆体消費をそれらのプラズマ中の滞在時間の関数として測定することを可能にした。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： プラズマ ,  気圧 ,  *FTIR分光法 ,  吸光分光分析 ,  空間分解能 ,  *プラズマ分光 ,  分光計 ,  赤外線 ,  ビーム ,  反応器 ,  反射器 ,  検出器 ,  アンモニア ,  シラン ,  反射防止膜 ,  アルゴン ,  濃度
準シソーラス用語： 大気圧

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (7件)： 空間分解能 ,  気体 ,  大気圧プラズマ ,  Fourier変換 ,  赤外吸収 ,  分光法 ,  特性評価