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J-GLOBAL ID：201202282445940235   整理番号：12A1186905

フェムト秒レーザ直接描画により生成されたパラジウムの線模様の3つの明瞭な水素検出応答

Three distinct hydrogen sensing responses of palladium line patterns generated by femtosecond laser direct writing

著者 (4件)： REN Shoutian (Harbin Inst. Technol. Weihai, Weihai, CHN) ,  WANG Qiang (Harbin Inst. Technol. Weihai, Weihai, CHN) ,  WANG Yanshen (Harbin Inst. Technol. Weihai, Weihai, CHN) ,  QU Shiliang (Harbin Inst. Technol. Weihai, Weihai, CHN)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 45  号： 28  ページ： 285303,1-6  発行年： 2012年07月18日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究では,異なる形態を有する3つのPd膜が酢酸パラジウム膜の光還元を使用して製作される。膜厚の減少にともなって,それらの形態が連続から部分的連続へ,そしてそれから不連続へ変化する。3つのサンプルは形態学的に関連したH₂応答特性を示す。連続サンプルAは,PdH転換プロセスに対するPdの抵抗増加がそのH₂応答を支配するので通常の応答を示す。不連続なサンプルCはPd粒子間ギャップの狭小化による抵抗減少がそのH₂応答を支配するのでスイッチ状応答を示す。部分的連続なサンプルBに対して,上述したファクタが一緒にそのH₂応答を支配する。それで,その水素応答はある水素濃度閾値で通常型からパルス状型へ変化する。この製造技術は安価で容易に利用可能な材料を使用する。それで,それはH₂センサや他のマイクロ電子デバイスの製造への応用に対して有望な可能性を示す。

シソーラス用語： パルスレーザ ,  *レーザリソグラフィー ,  パラジウム ,  *水素 ,  検出 ,  応答 ,  ナノ粒子 ,  *光還元 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： レーザ直接描画

分類 (2件)： レーザの応用  (BD04100V) ,  酸化,還元  (CF02060T)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒レーザ ,  直接描画 ,  パラジウム ,  模様 ,  水素 ,  応答