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J-GLOBAL ID：201202282542394385   整理番号：12A0925782

薄い金属膜/基板界面で自己配列した微斜面状ナノステップ

Self-Ordered Vicinal-Surface-Like Nanosteps at the Thin Metal-Film/Substrate Interface

著者 (4件)： BORUKHIN Shirly (Technion Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR) ,  SAGUY Cecile (Technion Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR) ,  KOIFMAN Maria (Technion Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR) ,  POKROY Boaz (Technion Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR)
資料名： Journal of Physical Chemistry C  (Journal of Physical Chemistry C)
巻： 116  号： 22  ページ： 12149-12155  発行年： 2012年06月07日 
JST資料番号： W1877A  ISSN： 1932-7447  CODEN： JPCCCK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きな単結晶表面上よりもむしろ薄い多結晶膜上での微斜面状にステップ化された表面を作る新しい方法について調べた。主に多結晶Au膜について調べた。熱的に酸化された(001)Siウエハの厚みが200nmのSiO₂層の表面に金を高真空下室温でなんらの接着層も用いずに蒸着され,200-400°Cの範囲で一定温度で大気圧環境下焼結した。このAu膜は鋳型剥離(TS)手法で基板より分離した。得られた膜の特性評価をSTM,HR-XRD,XPSで行った。このような金属と半導体の表面微斜面状で且つ原子がステップ化した表面は十分に配列し,周期的原子ステップとして振る舞いそしてマイクロエレクトロニクス,触媒,ナノワイアアレイの指向,量子ドットのパターン化と磁気ドメイン,さらにより多くのおびただしい利用が期待される。

シソーラス用語： *微斜面 ,  *表面ステップ ,  *ナノ構造 ,  *表面構造 ,  界面 ,  金属薄膜 ,  *金 ,  自己整合 ,  ポリシリコン ,  結晶面 ,  *剥離
準シソーラス用語： 固固界面 ,  表面ナノ構造

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属の表面構造  (BK15020P)

タイトルに関連する用語 (4件)： 金属膜 ,  界面 ,  自己配列 ,  微斜面