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J-GLOBAL ID：201202282826384940   整理番号：12A0264307

(Pb_0.5Ba_0.5)ZrO₃薄膜の微構造と電気的性質へのゾルのエージング時間による影響

Effects of aging time of sol on the microstructure and electrical properties of (Pb_0.5Ba_0.5)ZrO₃ thin films

著者 (5件)： HAO Xihong (School of Materials and Metallurgy, Inner Mongolia Univ. of Sci. and Technol., Baotou 014010, CHN) ,  WANG Peng (School of Materials and Metallurgy, Inner Mongolia Univ. of Sci. and Technol., Baotou 014010, CHN) ,  AN Shengli (School of Materials and Metallurgy, Inner Mongolia Univ. of Sci. and Technol., Baotou 014010, CHN) ,  XU Jingbao (Xinjiang Key Lab. of Electronic Information Materials and Devices, Xinjiang Technical Inst. of Physics and Chemistry ...) ,  YUE Zhenxing (State Key Lab. of New Ceramics and Fine Processing, Tsinghua Univ., Beijing 100084, CHN)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 519  ページ： 37-40  発行年： 2012年04月05日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (Pb_0.5Ba_0.5)ZrO₃(PBZ)薄膜を出発ゾルを24,192及び528hエージング後,Pt(111)/TiO₂/SiO₂/Si(100)基板に作製した。PBZ膜の微構造と電気的性質へのゾルのエージング時間による影響を系統的に調べた。PBZ膜の相構造と表面顕微鏡写真を各々X線回折と原子間力顕微鏡で調べた。全てのPBZ膜は純粋な立方晶ペロブスカイト構造であり,膜の表面粗さはゾルのエージング時間の増加により減少した。PBZ膜の誘電定数と誘電損失もゾルのエージング時間の増加により徐々に減少した。結果として,エージング時間が長い程性能係数(FOM)も向上した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *エレクトロセラミック ,  *薄膜 ,  *ジルコニウム酸塩 ,  *バリウム化合物 ,  *鉛化合物 ,  *微細構造 ,  *ゾル ,  ウエハ【IC】 ,  白金 ,  酸化チタン ,  多層膜 ,  スピンコーティング ,  相組成 ,  立方晶系 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  表面粗さ ,  誘電率 ,  誘電正接 ,  性能指数 ,  *時効 ,  脂肪酸 ,  カルボン酸塩 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  ケイ素基板 ,  *ジルコニウム酸鉛バリウム ,  性能係数 ,  二酸化チタン

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (3件)： 酢酸バリウム ,  酢酸鉛 ,  イソプロピルオキシジルコニウム

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  電気的性質 ,  ゾル ,  エージング