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J-GLOBAL ID：201202282828572531   整理番号：12A1486793

AFMを用いたSi単結晶のナノトライボロジーに及ぼす環境の影響

著者 (4件)： 櫻井淳平 (愛知工大) ,  松室昭仁 (愛知工大) ,  高木誠 (愛知工大) ,  岩田博之 (愛知工大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.M09  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MEMS/NEMSは今後様々な環境下での使用が予想され,その実現にはナノトライボロジーの解明が必要である。そこで本研究では,MEMS/NEMS用材料であるSi単結晶を試料に,様々な環境下(大気・水・加熱環境下等)において原子間力顕微鏡を用いた摩擦・摩耗試験を行い,環境が摩擦・摩耗に与える影響を調べた。さらに,摩擦・摩耗部の透過型電子顕微鏡観察を行うことにより摩耗プロセスの解明を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *トライボロジー ,  *原子間力顕微鏡 ,  ケイ素 ,  単結晶
準シソーラス用語： ナノトライボロジー

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (4件)： AFM ,  Si単結晶 ,  ナノトライボロジー ,  環境