文献

J-GLOBAL ID：201202283424459959   整理番号：12A1695664

高分解能電子分光法を用いたグリーンナノデバイス構造の動作環境operando解析

著者 (1件)： 尾嶋正治 (東大 大学院工学系研究科)
資料名： PFシンポジウム要旨集
巻： 29th  ページ： 16  発行年： 2012年 
JST資料番号： L2365A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 金属-絶縁体転移 ,  MBE成長 ,  *光電子スペクトル ,  *RAM【メモリ】 ,  マンガン酸塩 ,  カルシウム化合物 ,  プラセオジム化合物 ,  ニッケル酸塩 ,  ランタン化合物 ,  *不均一系反応 ,  *酸化膜 ,  誘電体薄膜 ,  *ハフニウム化合物 ,  窒化物 ,  酸化物 ,  ケイ化物 ,  リチウムイオン電池 ,  リチウム化合物 ,  リン酸塩 ,  鉄化合物 ,  LSI【IC】 ,  *ゲート絶縁膜
準シソーラス用語： レーザMBE ,  *ReRAM ,  ニッケル酸ランタン ,  *界面反応 ,  高誘電率薄膜 ,  リン酸鉄リチウム

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高分解能 ,  電子分光法 ,  グリーン ,  ナノデバイス ,  環境 ,  解析